精密加工和超精密加工范疇

制造技術(shù)的發(fā)展已有幾千年的歷史，從石器時(shí)代、銅器時(shí)代、鐵器時(shí)代到現(xiàn)代的高分子塑 料時(shí)代：從手工制作、機(jī)器制作到現(xiàn)代的智能控制自動(dòng)化制作；同時(shí)，從一般精度加工、精密 加工到超精密加工，現(xiàn)在已達(dá)到廣為流傳的納米加工境界，并逐漸接近加工精度和表面質(zhì)量的 極限，代表了當(dāng)前先進(jìn)制造技術(shù)的一個(gè)重要方面。因此，精密加工和趄精密加工代表了加工精 度發(fā)展的不同階段，由于生產(chǎn)制造技術(shù)的不斷發(fā)展，劃分的界味將隨著歷史進(jìn)程而逐漸向前推 移，過去的精密加工對(duì)今天來說已是一般如工，其劃分的界限是相對(duì)的，并且在具體的精度數(shù) 值上至今沒有確切的定義。

當(dāng)前，精密加工是指加工精度為1-0.1um、表面粗糙度為R0.1-0.01um的加工技術(shù)， 超精密加工是指加工誤差小于0.1um，表面粗糙度小于R0.025um的加工技術(shù)，又稱之為亞微米級(jí)加工。從稍密加工和趙精密加工的范味來看，它應(yīng)該包括微細(xì)加工和趙徽細(xì)加I、先整加工和精 整加工等加工技術(shù)。

微細(xì)加工和超微細(xì)加工技術(shù)是指制造微小尺寸零件的加工技術(shù)，它們是針對(duì)集成電路的制造要求而提出的，由于尺寸微小，其精度是用切肩的大小來表示的，而不是像一榖尺寸那樣， 用所加工尺寸與尺寸誤差的值來表示。

光I整加工技術(shù)，一般是指降低表面粗糙度值和提高表面層力學(xué)及機(jī)械性質(zhì)的加工方法，不 強(qiáng)調(diào)加工精度的提高。近年來，搗出了相對(duì)應(yīng)的精整加工概念，強(qiáng)調(diào)了精度和表面質(zhì)量兩個(gè)方 面。但從光整加工和精整加工的概念上來說，含有毛刺加工方面。

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