真空機(jī)組一般由下列元件構(gòu)成：各種真空泵；真空測量裝置；真空閥門；真空管道和一些其它元件，例如撲集器、真空接頭、儲氣罐、波紋管、除塵器和真空繼電器等。
按機(jī)組的工作壓力分，有粗真空機(jī)組(>1330Pa)；低真空機(jī)組(1330~0.13Pa)；高真空機(jī)組(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空機(jī)組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；極高真空機(jī)組(<1.2×10-11 Pa)。
用于較高真空的羅茨真空泵(機(jī)械增壓泵)不能直排大氣，如直排大氣會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機(jī)功率又會造成羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為保證羅茨真空泵能達(dá)到較高真空必須保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設(shè)有前級泵，用前級泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力抽至一定范圍內(nèi)時再啟動羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復(fù)式真空泵等可直排大氣的真空泵。
羅茨真空機(jī)組在一般情況下，選用水環(huán)泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時候更為明顯。
低真空機(jī)組的主要特點是工作壓力高，排氣量大，但抽速比高真空機(jī)組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大，工作壓力較高的真空輸送、真空浸漬、真空過慮、真空脫氣、真空干燥等裝置中。低真空機(jī)組的主泵常用往復(fù)式真空泵、油封真空泵、水噴射泵、水蒸汽噴射泵、水環(huán)泵、油蒸汽噴射泵、分子篩吸附泵和羅茨泵等。使用低真空機(jī)組，還需要根據(jù)被抽氣體的清潔程度、濕度等工藝要求，配置除塵器、干燥過慮器等元件。例如我廠生產(chǎn)的JZJB,JZJ2B,JZJS等羅茨水環(huán)真空機(jī)組
高真空機(jī)組例如JZJX,JZJP型羅茨旋片真空機(jī)組等。
�、龠x好主泵，主泵有擴(kuò)散泵、分子泵、濺射離子泵、鈦泵、低溫泵等。
�、谶x好預(yù)抽泵、儲氣管(防震、縮短工作周期、防止真空室內(nèi)瞬間大量放氣、穩(wěn)定擴(kuò)散泵出口壓力)
超高真空機(jī)組
主泵極限真空度要高、漏氣率要低、耐200~450℃烘烤。
�、贁U(kuò)散泵機(jī)組：降低返流、控制污染;
�、诜肿颖脵C(jī)組：對氫壓縮比小，殘余氣體主要是氫;
�、蹫R射離子泵機(jī)組：通常與鈦泵聯(lián)合使用;
④低溫泵機(jī)組：無污染。
因超高真空機(jī)組造價成本較高，組裝構(gòu)造構(gòu)成較嚴(yán)格，現(xiàn)逐漸被羅茨旋片真空機(jī)組所取代。但是在極其嚴(yán)格的工作環(huán)境要求下還是又一定量的需求。
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